Pece s inertnou atmosférou, tiež nazývané anaeróbne pece, sú navrhnuté na tepelné spracovanie s použitím neoxidačných plynov, ako je dusík, v tesniacom prostredí, sú vhodné na tepelné spracovanie v atmosfére s nízkou koncentráciou kyslíka.
Popis
Séria Inert Atmosphere Oven sa používa pri výrobe polovodičov na predbežné pečenie kremíkových doštičiek, arzenidu gália, niobátu lítneho, skla pred potiahnutím PR, vypálenie tvrdého filmu po potiahnutí PR a vypálenie pri vysokej teplote po vyvolaní; Je tiež vhodný pre výrobné a vedecké výskumné oddelenia, ako sú elektronické displeje z tekutých kryštálov, LCD, CMOS, IS a laboratóriá; môže byť tiež použitý na sušenie, tepelné spracovanie, starnutie a iné vysokoteplotné testy neprchavých, nehorľavých a nevýbušných predmetov.
Hlavné parametre
►Technické parametre
Kapacita: Prispôsobené podľa produktov
Teplotný rozsah: Okolitá + 50 °C ~ 250 °C
Obsah kyslíka: ≤ 50 ppm
Rovnomernosť teploty: ± 2,5 %
Rýchlosť nábehu: Kontrolovateľná
Vstup dusíka: Φ8
Prietok dusíka: 0-240L/min * 2 kanály
►Štruktúra
. Vnútorná časť rúry: Vyrobená z nehrdzavejúcej ocele a bezšvíková zváraná argónom.
. Hermeticky uzavretá: Komora je utesnená, aby sa znížila hladina kyslíka.
. Štruktúra nasávania vzduchu: Umožňuje neoxidačným plynom naplniť komoru.
. Analyzátor O2: Presne upravte hladiny kyslíka medzi 0,5 ~ 21 %
► Systém kontroly teploty
Inteligentný regulátor teploty JAPAN RKC, programuje a fixuje nastavenie hodnoty, automatické ladenie AT, korekciu offsetu a zachovanie vypnutia.
► Nútená konvekcia vzduchu
Patentovaný vzduchový kanál v systéme cirkulácie horúceho vzduchu dokáže automaticky upraviť jednotnosť teploty.
Funkcie pre anaeróbne (inertné) pece
► Hermeticky uzavreté nerezové štúdio, aby sa zabránilo prenikaniu vonkajšej atmosféry
► Na anaeróbne tepelné spracovanie použite dusíkový inertný plyn
► Prietokomer a manometer sú vybavené
► Viacnásobné ochranné bezpečnostné zariadenia
Možnosti
► PLC+7” programovateľný ovládač
► Trojfarebný blikajúci svetelný alarm
► Obmedzovač prehriatia
► Manuálne bezpečnostné zariadenia
Prečo si vybrať pece s inertnou atmosférou?
V súčasnosti sa elektroinštalačné materiály v obvodoch posunuli z hliníka na meď s nižším odporom. Preto pri tepelnom spracovaní v bežnej sušiacej peci môžu medené časti oxidovať a spôsobiť chyby. Okrem toho sa vykonáva aj starnutie pri 250 stupňoch C, aby sa skontrolovalo, či údaje zapísané na flash pamäti neboli vymazané v dôsledku elektromigrácie a či nie sú nárazové časti oxidované, takže obsah kyslíka musí byť znížený na < 100 ppm. Táto anaeróbna pec bola vyvinutá tak, aby spĺňala tieto požiadavky.
Aplikácia
Pece s inertnou atmosférou sa používajú hlavne na vytvrdzovanie BPO lepidla / PI lepidla / BCB lepidla, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, vysoko presných elektronických komponentov a iných materiálov v prostredí s nízkym obsahom kyslíka na testy sušenia a starnutia. .
